DPG Phi
Verhandlungen
Verhandlungen
DPG

Münster 1999 – scientific programme

Parts | Days | Selection | Search | Downloads | Help

DS: Dünne Schichten

DS 15: Plasma- und Ionentechniken II

Tuesday, March 23, 1999, 15:00–16:00, H 55

15:00 DS 15.1 Fachvortrag: Ionengestützte Abscheidung von epitaktischen Galliumnitridschichten — •J.W. Gerlach, D. Schrupp, R. Schwertberger, K. Volz und B. Rauschenbach
15:15 DS 15.2 Fachvortrag: Si-C-N-Abscheidung in einem ECR-Mikrowellenplasma — •Ines Dani, Siegfried Peter und Frank Richter
15:30 DS 15.3 Fachvortrag: Plasmaimmersions-Ionenimplantation von Kaltarbeitsstahl — •G. Thorwarth, S. Mändl, B. Rauschenbach und B. Stritzker
15:45 DS 15.4 Fachvortrag: Herstellung von Ti-Schichten mittels Vakuumlichtbogenabscheidung — •Boris Straumal, Nikolay Vershinin, Regis Dimitriou und Wolfgang Gust
100% | Mobile Layout | Deutsche Version | Contact/Imprint/Privacy
DPG-Physik > DPG-Verhandlungen > 1999 > Münster