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DS: Dünne Schichten

DS 19: Charakterisierung mittels SXM-Techniken IV

Dienstag, 23. März 1999, 15:45–16:00, PC 7

	15:45	DS 19.1	Fachvortrag: Anwendung von Diamantspitzen für die Charakterisierung von Halbleiterbauelementen — •A. Malave, D. Büchel, W. Kulisch, Th. Trenkler, Th. Hantschel, W. Vandervorst und E. Oesterschulze