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DS: Dünne Schichten

DS 23: Optische Eigenschaften II

DS 23.1: Fachvortrag

Mittwoch, 24. März 1999, 15:00–15:15, PC 7

Herstellung und optische Untersuchungen an periodisch strukturierten Gold-Dot-Gittern — •K. Hadobas, S. Kirsch, A. Carl, M. Acet und E.F. Wassermann — Gerhard-Mercator-Universitaet GH Duisburg, Tieftemperaturphysik, 47048 Duisburg

Wir berichten ueber Ergebnisse optischer Spektroskopie an grossflaechigen periodischen metallischen Nanostrukturen, bestehend aus gitterfoermig angeordneten Gold-Dots mit Periodizitaeten der Gitterstruktur von 300nm und entsprechenden Dot-Durchmessern von 200nm. Die Nanostrukturen werden im UHV auf Si-Substraten durch Aufdampfen von hochreinem Gold auf periodisch strukturierte Photolack-Masken mit anschliessendem lift-off hergestellt. Zur Strukturierung verwenden wir optische Interferenz-Lithographie mit einem Ar-Ionen Laser, der bei einer Wellenlaenge von 457nm betrieben wird. Ergebnisse an Dot-Gittern mit unterschiedlicher Strukturierungshoehe werden verglichen mit Ergebnissen fuer entsprechende homogene Goldschichten gleicher Schichtdicke.