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DS: Dünne Schichten
DS 29: Elektrische Eigenschaften
DS 29.3: Fachvortrag
Donnerstag, 25. März 1999, 14:30–14:45, PC 7
Herstellung elektrisch leitfähiger Wolframkarbidschichten durch PVD — •Henry Romanus1, Volker Cimalla1, Juergen A. Schaefer1, Gernot Ecke2 und Lothar Spieß3 — 1TU Ilmenau, Institut für Physik, PF 100565, D-98684 Ilmenau — 2TU Ilmenau, Institut für Festkörperelektronik — 3TU Ilmenau, Institut für Werkstofftechnik
Wolframkarbid (WC) ist ein elektrisch leitendes, hartes,
chemisch- und hochtemperaturstabiles Material. Für
SiC-Bauelemente, spezielle Sensoren und Aktoren ist WC ein
geeignetes Material. Diese Arbeit beschäftigt sich mit
der Präparation von einphasigem WC und gemischten Schichten
aus WC und W2C.
Röntgenamorphe dünne Schichten wurden mittels
Gleichstrom-Magnetron-Sputtern von einem Sintertarget auf Si,
Si3N4 und 3C−SiC abgeschieden. Anschließend wurden
die Proben in einer Umgebung aus Wasserstoff/Argon/Propan
unterschiedlicher Zusammensetzung getempert und die
entstandenen Schichten mit XRD, AFM, AES und elektrisch
charakterisiert. Die Abhängigkeit der Eigenschaften von den
Temperbedingungen wird in dieser Arbeit dargestellt.