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DS: Dünne Schichten

DS 30: Metallische Schichten

DS 30.3: Fachvortrag

Donnerstag, 25. März 1999, 16:00–16:15, PC 7

Simulationen des Wachstums amorpher metallischer Aufdampfschichten — •S. G. Mayr, M. Moske und K. Samwer — Institut für Physik, Universität Augsburg, D–86135 Augsburg

Das Wachstumsverhalten kokondensierter amorpher metallischer Aufdampfschichten zeichnet sich – nahezu unabhängig von den speziellen Details des betrachteten Systems – auf mesoskopischer Skala durch spezielle Hügelstrukturen und mechanische Spannungen aus, deren Schichtdickenabhängigkeit, sowie deren Abhängigkeit von den Herstellungsparametern experimentell systematisch untersucht wurden.
Mit Hilfe von einfachen Molekulardynamiksimulationen werden universelle (d.h. von den speziellen Eigenschaften des betrachteten Systems unabhängige) Aspekte des Wachstums untersucht, wobei die atomaren Mechanismen für die experimentell beobachteten mesoskopischen Eigenschaften im Zentrum des Interesses stehen. Modelliert werden unter anderem die Abhängigkeit von den Herstellungsparametern wie Temperatur, Depositionsrate oder der Auftreffenergie der Partikel, und die daraus resultierende Entwicklung der Schichtwachstumsstadien, sowie das Relaxationsverhalten bei Temperaturbehandlung nach der Schichtherstellung. Hierbei wird ein Zusammenhang mit Monte–Carlo–Simulationen und einer Kontinuumsbeschreibung des Depositionsprozesses im Rahmen von Ratengleichungen und den darin berücksichtigten atomaren Prozessen auf der amorphen Oberfläche hergestellt.
Gefördert durch den SFB 438 München–Augsburg, TP A1