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DS: Dünne Schichten

DS 33: Postersitzung

DS 33.10: Poster

Dienstag, 23. März 1999, 09:30–17:30, Aula

Brillouin-Lichtstreuung zur Bestimmung der elastischen Konstanten dünner BN und ternärer BN:C Schichten — •T. Wittkowski, P. Cortina, J. Jorzick, K. Jung und B. Hillebrands — Fachbereich Physik, Universität Kaiserslautern, Erwin-Schrödinger Str. 56, 67663 Kaiserslautern

Untersucht wurden Schichten bis 500 nm Dicke, die auf Silizium-Substraten abgeschieden wurden. h-BN Schichten sowie h-BN:C Schichten mit bis zu 30% Kohlenstoffanteil wurden aufgesputtert. c-BN Schichten wurden in einer Hohlkathoden-Bogenentladung abgeschieden. Bei den h-BN und h-BN:C Schichten wurden vier unabhängige Konstanten des Elastizitätstensors bestimmt. Die untersuchten h-BN:C Schichten weisen elastische Anisotropien C₁₁/C₃₃ zwischen 3 und 100, die h-BN Schichten zwischen 0.1 und 0.6 auf. Aufgrund der geringen Anzahl der durch verschiedene Methoden aufgebrachten Schichten kann noch nicht geklärt werden, ob die Ursachen des unterschiedlichen elastischen Verhaltens der binären und ternären Systeme in unterschiedlichen Ionenplattierbedingungen oder aber in einer starken Modifikation des Wachstumsprozesses durch den eingebrachten Kohlenstoff zu suchen sind. Die Ergebnisse zeigen bei den c-BN Schichten die Ausbildung einer weicheren Zwischenschicht. Der Torsionsmodul C₄₄ ist größer als 160 GPa. Der Vergleich der Peakbreiten im Brillouin-Spektrum mit den Kristallitgrößen, die aus AFM-Aufnahmen bestimmt wurden, deutet auf eine Störung der Ausbreitung der Oberflächenwellen durch eine wachsende Zahl von inneren Grenzflächen hin.
Unser Dank gilt den Gruppen um Prof. Richter (Chemnitz) und Prof. Lunk (Stuttgart) für die Bereitstellung von Proben.
Unterstützt durch die Deutsche Forschungsgemeinschaft.