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DS: Dünne Schichten

DS 33: Postersitzung

DS 33.13: Poster

Dienstag, 23. März 1999, 09:30–17:30, Aula

Untersuchungen zum Einbau und zur Diffusion von Wasserstoff in Diamant — •C. Haug, J. Portmann und R. Brenn — Fakultät für Physik, Albert-Ludwigs-Universität Freiburg im Breisgau, Hermann-Herder-Str. 3, D-79104 Freiburg

Am Freiburger 7 MV Van de Graaff Ionenbeschleuniger wurden mit Nuclear Reaction Analysis Diamantschichten auf ihren Wasserstoff- beziehungsweise Deuteriumgehalt untersucht. Die verschiedenen Proben, sowohl homoepitaktische als auch heteroepitaktische wurden per Mikrowellengasphasenepitaxie (CVD) hergestellt. Dabei wurde bei der Herstellung teilweise das Wasserstoffgas durch Deuteriumgas ersetzt und es wurden Schichten präpariert, bei denen zuerst Diamant mit Wasserstoff und anschließend mit Deuterium aufgewachsen wurde. Anschließend wurde der Wasserstoff- und Deuteriumgehalt dieser Diamantschichten vor und nach Temperschritten bestimmt. Untersucht wurde dabei die Möglichkeit der Diffusion von Wasserstoff oder Deuterium in Diamant, die beim Tempern der Proben auftritt.
Dabei zeigte sich auch eine Abhängigkeit des Einbaukoeffizienten von Wasserstoff in Diamant bezüglich der beiden Prozeßgase Methan und Wasserstoff beziehungsweise Deuterium.
Desweiteren wird der Zusammenhang zwischen Defekten im Diamant und der Wasserstoffanlagerung an diesen vorgestellt.
(Gefördert durch die DFG, Schwerpunkt „Synthese superharter Materialien “  im Rahmen des trinationalen D-A-CH Verbundes).