Münster 1999 – scientific programme

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DS: Dünne Schichten

DS 33: Postersitzung

DS 33.15: Poster

Tuesday, March 23, 1999, 09:30–17:30, Aula

Epitaktisches Wachstum von Iridiumschichten auf SrTiO₃
(001)–Oberflächen — •F. Hörmann, H. Roll, M. Schreck und B. Stritzker — Universität Augsburg, Institut für Physik, 86135 Augsburg

Einkristalline Ir–Schichten erweisen sich als vielversprechendes Substrat für die epitaktische Nukleation von Diamant. Ihre Realisierung erfordert allerdings ein epitaktisches Wachstum auf einem einkristallinen Substrat. Im vorliegenden Beitrag wird über die Deposition von Ir auf SrTiO₃   (001) berichtet. Die Schichten wurden mittels Elektronenstrahlverdampfen im Hochvakuum hergestellt. Ihre Charakterisierung erfolgte mittels Röntgentexturmessungen, Rasterelektronenmikroskopie und Rasterkraftmikroskopie. Bei Variation der Probentemperatur zwischen 400^oC und 950^oC während der Schichtabscheidung findet man eine drastische Veränderung von Morphologie und Textur der Schichten. Für die höchste Temperatur von 950^oC erhält man die erwünschte Epitaxiebeziehung Ir(001)[100] ∥ SrTiO₃(001)[100] mit einer Mosaikverteilung <0,2^o sowie eine extrem glatte Oberfläche.