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DS: Dünne Schichten

DS 33: Postersitzung

DS 33.2: Poster

Dienstag, 23. März 1999, 09:30–17:30, Aula

Untersuchungen zum Energie- und Teilcheneinstrom auf das Substrat bei der Abscheidung von Al-Schichten in einer ECWR-Entladung — •V. Vartolomei, H. Steffen, F. Herrmann und R. Hippler — Inst. f. Physik, Univ. Greifswald, Domstr. 10a, D-17487 Greifswald

Am Beispiel der Abscheidung von Al-Schichten wird der Einfluß der Prozeßführung auf den Energie- und Teilcheneinstrom auf das Substrat dargestellt. Die Untersuchungen wurden in einer ECWR-Entladung (Electron Cyclotron Wave Resonance) mit integrierter Sputterelektrode durchgeführt. ECWR-Entladungsleistung, Sputterleistung, Druck und Gasfluß wurden variiert. Der integrale Energieeinstrom setzt sich im wesentlichen zusammen aus Beiträgen der Ionen, Elektronen und den gesputterten Neutralteilchen und der Kondensationsenergie. Der integrale Energieeinstrom wurde mit Hilfe eines speziellen Substrathalters über Temperaturgradienten bestimmt. Die Plasmaeigenschaften im Substratraum der ECWR-Entladung wurden mit Langmuir-Sonden vermessen. Stromdichte und Energieverteilung der Ionen wurden mit einem Gegenfeldanalysator bestimmt. Durch Variation der Abscheidebedingungen insbesondere der elektrischen Potentialverhältnisse am Substrat konnten die einzelnen Beiträge separiert werden. Unter den experimentellen Bedingungen liefern Ionen und schnelle Neutralteilchen den überwiegenden Beitrag zum Energieeinstrom.