Münster 1999 – wissenschaftliches Programm
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DS: Dünne Schichten
DS 33: Postersitzung
DS 33.3: Poster
Dienstag, 23. März 1999, 09:30–17:30, Aula
Reaktionsprodukte auf Cu mikrostrukturiert durch lichtstimuliertes Trockenätzen mit Cl2 im Vakuumultraviolett — •H. Raaf, M. Groen und N. Schwentner — Institut für Experimentalphysik, FU Berlin, Arnimallee 14, 14195 Berlin
Lichtinduziertes Trockenätzen von Cu(poly)-Oberflächen mit Cl2 und Synchrotronstrahlung im Spektralbereich von 50 nm bis 300 nm wurde untersucht auf Selektivität, Auflösung, Anisotropie, Produktverteilung und Effizienz der photochemischen Reaktionen. Ätztiefen und Schichtdicken der Reaktionsprodukte werden nach der Mikrostrukturierung (durch Reproduktion von freitragenden Ni-Masken) als Funktion der Bestrahlungsparameter studiert. Selektive und nichtselektive Reaktionen werden via Cl2-Partialdruck separiert, wobei die nichtselektive einer Gasphasenreaktion photodissoziierter Teilchen zugesprochen wird. Die selektive Reaktion rührt von einer elektronischen Anregung des auf der Oberfläche adsorbierten Halogens her, gefolgt von einer Kettenreaktion. AES- und XPS-Tiefenprofile zeigen, daß Cu durch die Produkte an die Oberfläche diffundiert und dort lichtinduziert mit erneut adsorbiertem Chlor reagiert.