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DS: Dünne Schichten

DS 33: Postersitzung

DS 33.37: Poster

Dienstag, 23. März 1999, 09:30–17:30, Aula

Anwendung neuronaler Netze zur Auswertung von Dünnschichtspektren — •Steffen Wilbrandt¹, Ralf Petrich², Olaf Stenzel¹ und D.R.T. Zahn¹ — ¹Technische Universität Chemnitz, Institut für Physik, OSMP, 09107 Chemnitz — ²IfU GmbH Privates Institut für Umweltanalysen, Heinrich-Heine-Str.5, 09557 Floeha

Mit Hilfe neuronaler Netze ist eine schnelle Ermittlung von optischen und geometrischen Eigenschaften dünner Schichten aus dem Transmissions- bzw. Reflexionsvermögen möglich. Dabei ist ein ausgelerntes neuronales Netzwerk in der Lage, auch noch mit Meßfehlern behaftete Spektren (z.B. Rauschen) mit guter Genauigkeit auszuwerten.

Wir demonstrieren die Anwendung neuronaler Netze zur Bestimmung von Schichtdicke, Brechzahl und Oberflächenrauhigkeit dünner Schichten aus Reflexionsspektren im Spektralbereich von 4000 bis 8000 1/cm. Zur Vereinfachung der Netzwerkarchitektur wurden sowohl das Substrat als auch die dünne Schicht als transparent angenommen. Durch eine Fouriertransformation der 128 Spekralpunkte reichen bereits maximal 52 Neuronen aus, um bei den Trainingsdaten Brechzahl und Schichtdicke mit 1 Promille Genauigkeit und die Rauhigkeit (bis zu 80 nm) auf 2 nm Genauigkeit zu bestimmen.

Zur Zeit arbeiten wir an einer Charakterisierung von absorbierenden Proben auf transparentem Substrat.