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Münster 1999 – scientific programme

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DS: Dünne Schichten

DS 33: Postersitzung

Tuesday, March 23, 1999, 09:30–17:30, Aula

09:30 DS 33.1 Untersuchungen zum Energieeinstrom bei der a-C:H-Schichtabscheidung — •D. Rohde, H. Kersten, P. Pecher, W. Jacob und R. Hippler
09:30 DS 33.2 Untersuchungen zum Energie- und Teilcheneinstrom auf das Substrat bei der Abscheidung von Al-Schichten in einer ECWR-Entladung — •V. Vartolomei, H. Steffen, F. Herrmann und R. Hippler
09:30 DS 33.3 Reaktionsprodukte auf Cu mikrostrukturiert durch lichtstimuliertes Trockenätzen mit Cl2 im Vakuumultraviolett — •H. Raaf, M. Groen und N. Schwentner
09:30 DS 33.4 Winkelaufgelöste elastische Lichtstreuung zur Morphologiebestimmung von In auf GaAs(001) — •M Bastian, A.M. Frisch, K. Hinrichs, N. Esser und W. Richter
09:30 DS 33.5 Charakterisierung ultradünner Schichten mittels XPS im Bereich externer Totalreflexion — •Th. Eickhoff, W. Drube und G. Materlik
09:30 DS 33.6 Phasenanalyse an WNx-Schichten mittels Elektronenbeugung — •St. Liebert, W. Gruenewald, J. Baumann und M. Hietschold
09:30 DS 33.7 Untersuchung plasmagestützt abgeschiedener ITO-Schichten mittels GIXR und GIXRD — •Marion Quaas, Hartmut Steffen und Harm Wulff
09:30 DS 33.8 In situ Messung mechanischer Spannungen in dünnen Schichten während der Abscheidung — •Wolfgang Fukarek, Clemens Fitz und Wolfhard Möller
09:30 DS 33.9 Untersuchungen von im Mikrowellenplasma behandelten Al-Filmen mit GIXR und GIXRD — •Antje Quade und Harm Wulff
09:30 DS 33.10 Brillouin-Lichtstreuung zur Bestimmung der elastischen Konstanten dünner BN und ternärer BN:C Schichten — •T. Wittkowski, P. Cortina, J. Jorzick, K. Jung und B. Hillebrands
09:30 DS 33.11 FTIR in-situ-Diagnostik des c-BN Wachstums auf Silizium und Hartmetall — •P. Scheible, L. Ulrich und A. Lunk
09:30 DS 33.12 Simulation von in situ IR-Reflexionsspektren zur quantitativen Analyse von c-BN Schichten — •L. Ulrich, P. Scheible und A. Lunk
09:30 DS 33.13 Untersuchungen zum Einbau und zur Diffusion von Wasserstoff in Diamant — •C. Haug, J. Portmann und R. Brenn
09:30 DS 33.14 Untersuchungen zur Aufskalierung der Prozeßbedingungen für die Abscheidung von kubischem Bornitrid — •M. Hock, A. Neuffer und A. Lunk
09:30 DS 33.15 Epitaktisches Wachstum von Iridiumschichten auf SrTiO3
(001)–Oberflächen
— •F. Hörmann, H. Roll, M. Schreck und B. Stritzker
09:30 DS 33.16 Charakterisierung hochgeordneter Multischichten von Perylenderivaten auf Ag(110) — •A. Schäfer, C. Seidel und H. Fuchs
09:30 DS 33.17 Strukturelle Veränderungen in laserdeponierten Fe/Al Multischichten durch Ionenstrahlmischen und thermische Behandlung — •J. Noetzel, H. Geisler, A. Gorbunov, A. Tselev, K. Brand, M. Lehmann, A. Mücklich, M. Dobler, E. Wieser und W. Möller
09:30 DS 33.18 Nahfeldverstärktes Atomlagenthermosäulen-Signal in c-Achsen-orientierten YBaCuO-Schichten — •E. Zepezauer, A. Kalbeck, Th. Zahner und W. Prettl
09:30 DS 33.19 Ionenstrahlinduzierte Strukturbildung im System Co/Cu — •J. Noetzel, A. Handstein, A. Gorbunov, A. Tselev, A. Mücklich, F. Prokert, E. Wieser und W. Möller
09:30 DS 33.20 Untersuchungen zur Grenzflächenrauhigkeit in Ti/C und Mo/Si Multilayern — •A. Aschentrup, F. Hamelmann, G. Haindl, I. Kolina, U. Kleineberg, E. Majkova, A. Anopchenko, M. Jergel, S. Luby und U. Heinzmann
09:30 DS 33.21 Herstellung von Metall / Silizium Multischichten mittels Plasma-Enhanced MOCVD — •Frank Hamelmann, G. Haindl, J. Hartwich, A. Klipp, E. Majkova, U. Kleineberg, P. Jutzi und U. Heinzmann
09:30 DS 33.22 Einfluß der Depositionsparameter auf die elektronischen Eigenschaften von gesputterten W- und W/a-Si:H-Multischichten — •Hans-Martin Latuske, F. Klabunde, M. Löhmann und T. Drüsedau
09:30 DS 33.23 Temperaturabhängige Raman- und Depolarisationsmessungen an α-6T LEDs — •C. Bauer, A. Groß, J. Laubender, M. Sokolowski, E. Umbach, V. Wagner und J. Geurts
09:30 DS 33.24 Grenzflächeneigenschaften von Metalloxid / SAM - Schichtsystemen: Röntgenreflektivitätsmessungen — •K.-P. Just, F. Schreiber, J. Wolff, T. Niesen, F. Aldinger und H. Dosch
09:30 DS 33.25 Pulsed Force Rasterkraftmikroskopie: Charakterisierung von lateral strukurierten Si-Oberflächen mittels Mikrokontaktdruck-Technik — •P. Barth, H.-U. Krotil, S. Hild und O. Marti
09:30 DS 33.26 Mechanische Spannungen in Phasenwechselmedien — •P. Franz, I. Friedrich, W. Njoroge, V. Weidenhof und M. Wuttig
09:30 DS 33.27 In-situ Messung der mechanischen Spannung beim Wachstum amorpher Fe100−xZrx Schichten — •A. Grob, U. Herr und K. Samwer
09:30 DS 33.28 Optische Sensoren für Dünnschichtsysteme — •T. Rehrmann und W. Theiss
09:30 DS 33.29 Charakterisierung und Optimierung des Schaltverhaltens gasochromer WOx-Schichten — •G. Thissen, H. Weis und M. Wuttig
09:30 DS 33.30 Untersuchung und Optimierung von schaltbaren Spiegeln auf der Basis von Metallhydriden — •M. Beckers, H. Weis und M. Wuttig
09:30 DS 33.31 Optimierung der Reflexionsschicht in optischen Datenspeichern — •H.-W. Wöltgens, I. Friedrich, M. Wuttig und W. Theiss
09:30 DS 33.32 Charakterisierung der minimalen Schreib- und Löschzeiten des Phasenmechselmediums Ge2Te5Sb2 — •S. Ziegler, V. Weidenhof, S.-J. You, I. Friedrich und M. Wuttig
09:30 DS 33.33 Einfluß der Substratgrenzfläche auf die dynamische Leitfähigkeit dünner Fe-Filme auf Si(111)(7x7) — •V. Greim, S. Ulrich, G. Fahsold und Annemarie Pucci
09:30 DS 33.34 Optische und elektrische Charakterisierung von p-Typ mikrokristallinem Silizium — •G. Grabosch, D. Borchert, R. Hussein und W. R. Fahrner
09:30 DS 33.35 EELS und XPS-Untersuchungen an Ga1−xAlxN (0 ≤ x ≤ 1) — •W. Niessner, I. Österreicher, S. Fischer, D.M. Hofmann und B.K. Meyer
09:30 DS 33.36 Infrarotspektroskopische Untersuchung des Wachstums dünnster Eisenfilme in Abhängigkeit von der Substrattemperatur — •N. Magg, O. Krauth, G. Fahsold und Annemarie Pucci
09:30 DS 33.37 Anwendung neuronaler Netze zur Auswertung von Dünnschichtspektren — •Steffen Wilbrandt, Ralf Petrich, Olaf Stenzel und D.R.T. Zahn
09:30 DS 33.38 A statistical approach for interpreting the optical extinction spectra of metal island films — •A.N. Lebedev, O. Stenzel, M. Schreiber, and D.R.T. Zahn
09:30 DS 33.39 Nanoscale characterization and switching of ferroelectric thin films — •C. Harnagea, A. Pignolet, M. Alexe, K.M. Satyalakshmi, St. Senz, D. Hesse, and U. Gösele
09:30 DS 33.40 Epitaxial BaBi4Ti4O15 - LaNiO3 thin film heterostructures — •A. Pignolet, K.M. Satyalakshmi, M. Alexe, St. Senz, D. Hesse, and U. Gösele
09:30 DS 33.41 HRTEM and resistivity investigations on structure-property correlations in PLD-grown epitaxial SrRuO3 films on SrTiO3(001) — •N.D. Zakharov, K.M. Satyalakshmi, D. Hesse, and G. Koren
09:30 DS 33.42 Transporteigenschaften von gesputterten halbleitenden β−FeSi2-Schichten — •H. Grießmann, D. Elefant, J. Schumann und A. Heinrich
09:30 DS 33.43 Struktur, Phasenbildung und thermoelektrische Transporteigen- schaften dotierter IrxSi1−x-Dünnschichtproben (0.3<x<0.4) — •A. Heinrich, R. Kurt, W. Pitschke, J. Schumann, H. Grießmann und K. Wetzig
09:30 DS 33.44 Untersuchung metallischer Nanodrähte im AFM — •F. Müller, A.-D. Müller und G. Schmid
09:30 DS 33.45 Einfluß von Si02 auf die Silicidreaktion von Co/Ti Doppelschichten mit Si(100) — •Heiko Hortenbach, Meiken Falke, Dilip Kumar Sarkar, Gunter Beddies, Steffen Teichert und Hans-Jürgen Hinneberg
09:30 DS 33.46 Herstellung und Untersuchung von MnSi1,73 in Si (001) — •Stefan Schwendler, Dilip Kumar Sarkar, Henning Giesler, Meiken Falke, Steffen Teichert und Hans-Jürgen Hinneberg
09:30 DS 33.47 Solid Phase Reaction of Co on Si/Si1−xGex/Si Heterostructures — •Ingolf Rau, Stefan Schwendler, Dilip Kumar Sarkar, Meiken Falke, Gunter Beddies, Steffen Teichert, and Hans-J"urgen Hinneberg
09:30 DS 33.48 Leitfähigkeits- und Suszeptibilitätsmessungen von Sn-Schichten auf III-V-Halbleitern — •Iris Didschuns, Anna-Maria Frisch, Karsten Fleischer, Norbert Esser, Klaus Lüders und Wolfgang Richter
09:30 DS 33.49 Untersuchungen zur Lichtbogenablation im Gas in einer gepulsten Entladungszelle — •S. Sievers, A. Usoskin und H.C. Freyhardt
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