Münster 1999 – wissenschaftliches Programm

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DS: Dünne Schichten

DS 4: Ionenimplantation IV

DS 4.1: Fachvortrag

Montag, 22. März 1999, 15:30–15:45, PC 7

Vergleich des Einfärbeverhaltens gesputterter und aufgedampfter WO₃-Filme durch mittelenergetische Ionenbestrahlung — •Matthias Merz, Bernd Heinz, Reiner Notz und Paul Ziemann — Abteilung Festkörperphysik, Universität Ulm, D-89069 Ulm

Transparente WO₃-Filme lassen sich neben anderen Verfahren auch durch Ionenbestrahlung in einen blaugefärbten Zustand überführen. Um die Mechanismen die hierbei eine wesentliche Rolle spielen genauer zu bestimmen, wurde das Einfärbeverhalten unterschiedlich hergestellter WO₃-Filme beim Bestrahlen mit 300 keV Edelgasionen (He⁺, Ar⁺) untersucht. Zur Bestimmung des optischen Verhaltens wurde ein Spektrometer aufgebaut, das eine in situ Messung von Transmission und Reflexion der Filme im Bereich 400-1600 nm erlaubt. Mittels eines entsprechenden Auswerteverfahrens, das Vielfachreflexionen und Interferenzen an dünnen Schichten berücksichtigt, lassen sich die optischen Konstanten n und k berechnen. Zur zusätzlichen Charakterisierung wurde der elektrische Widerstand der Filme bestimmt. Es zeigt sich ein signifikanter Unterschied im Einfärbeverhalten von im UHV aufgedampften Filmen im Vergleich zu Filmen, die durch RF-Sputtern hergestellt wurden. Diese Beobachtung wird im Zusammenhang mit den gängigen Modellen der Farbzentrenbildungüber Wasserstoff/Wolfram-Bronze-Komplexen sowie Sauerstoff Leerstellen diskutiert.