Münster 1999 – wissenschaftliches Programm

Bereiche | Tage | Auswahl | Suche | Downloads | Hilfe

DS: Dünne Schichten

DS 5: Harte Schichten I

DS 5.3: Fachvortrag

Montag, 22. März 1999, 17:15–17:30, PC 7

Vakuumlichtbogenabscheidung großflächiger Beschichtungen aus Ti, TiN, TiO2 und TiN/TiO2 — •Boris Straumal¹, Nikolay Vershinin², Konstantin Filonov², Regis Dimitriou¹ und Wolfgang Gust³ — ¹Institute of Solid State Physics, Chernogolovka, Moscow District, 142432 Ru=DFland — ²SONG Ltd., P.O. Box 98, Chernogolovka, Moscow District= , 142432 Ru=DFland — ³Institut für Metallkunde, Seestr. 92, 70174 Stuttgart

Die Vakuumlichtbogentechnologie (vacuum arc deposition) erlaubt es, dünne Schichten aus Metallen, Nitriden und Oxiden auf großflächigen Substraten mit sehr hoher Gleichmäßigkeit abzuscheiden. Beschichtungen aus Ti, TiN, TiO2=20 und TiN/TiO2wurden auf großflächigen Silicatglassubstraten abgeschieden. Die Möglichkeit, großflächige Beschichtungen mit gleichmäßigen= =20 Interferenzfarben zu erzeugen, wurde aufgezeigt. Die niedrige Substrattemperatur während der Abscheidung, erlaubt es, Polymermasken zu benutzen. Tiefenprofile wurden mittels Auger-Elektronenspektroskopie gemessen. Die Rauhigkeit, die Mikrostruktur und Korrosionsbeständigkeit der Schichten=20 wurden charakterisiert.=20 Die Arbeit wurde mit finanzieller Unterstützung des BMBF-TRANSFORM- Programms, des INCO-Copernicus Netzwerks und dem NATO-Linkage-Grant durchgeführt.