Münster 1999 – scientific programme
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DS: Dünne Schichten
DS 5: Harte Schichten I
Monday, March 22, 1999, 16:45–17:30, PC 7
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16:45 | DS 5.1 | Fachvortrag: In-situ Untersuchung des Wachstums von c-BN Schichten mit spektroskopischer Ellipsometrie im mittleren IR — •P. Scheible, L. Ulrich und A. Lunk |
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17:00 | DS 5.2 | Fachvortrag: In-situ Kontrolle der ionenstrahlgestützten BN-Dünnschichtabscheidung mittels VIS Ellipsometrie — •Jan-David Hecht, Eva Franke, Horst Neumann und Mathias Schubert |
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17:15 | DS 5.3 | Fachvortrag: Vakuumlichtbogenabscheidung großflächiger Beschichtungen aus Ti, TiN, TiO2 und TiN/TiO2 — •Boris Straumal, Nikolay Vershinin, Konstantin Filonov, Regis Dimitriou und Wolfgang Gust |