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HL: Halbleiterphysik

HL 10: Amorphe Halbleiter

HL 10.5: Vortrag

Montag, 22. März 1999, 18:30–18:45, H3

Stimulierte Emission in amorphen Silizium-Suboxiden (a-SiOx:H) — •Andreas Janotta, Rainer Janssen, Lutz Höppel, Mike Kelly und Martin Stutzmann — Walter Schottky Institut, Technische Universität München, Am Coulombwall, 85748 Garching

Amorphe Silizium-Suboxide werden mittels plasmaunterstützter

Gasphasenabscheidung hergestellt. Durch Variation des

Sauerstoffgehalts in den Schichten können Bandlücken von 1,9

bis 3,0 eV realisiert werden. Diese SiOx-Proben weisen eine

stabile Photolumineszenz zwischen 1,1 und 1,9 eV auf. Durch

optisches Pumpen kann eine Besetzungsinversion erzeugt und

stimulierte Emission aus Silizium-Suboxiden beobachtet werden.

Zwei verschiedene Proben mit Bandlücken von 2,26 eV und 2,42 eV

zeigten ein Verschwinden der breiten Photolumineszenz und das

Entstehen einer schmalen Linie bei etwa 835 nm. Die stimulierte

Emission erfolgt vermutlich zwischen energetisch tiefen

Zuständen in den Bandausläufern. Weiterhin besteht eine

Korrelation zwischen den Absorptionsspektren und den optimalen

Pumpwellenlängen. Die Intensitätsmaxima der stimulierten

Emission werden erzielt, wenn die Anregung in die Bandausläufer

ausreichend unterhalb der Bandkante, aber noch oberhalb der

Defektabsorption erfolgt. Bei Raumtemperatur geht die

Intensität um einen Faktor vier zurück. Gleichzeitig verschiebt

die Linie zu höheren Wellenlängen, jedoch ist die stimulierte

Emission immer noch nachweisbar.

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