Münster 1999 – scientific programme
Parts | Days | Selection | Search | Downloads | Help
HL: Halbleiterphysik
HL 2: Photovoltaik I
HL 2.10: Talk
Monday, March 22, 1999, 12:45–13:00, H1
Simulation von im Dunkeln und unter Beleuchtung gemes-
senen Kapazitäts-Spannungs-Kurven von Metall/Oxid/p-
Silicium-Kondensatoren — •A. Bierhals1, A.G. Aberle2 und R. Hezel1 — 1Institut für Solarenergieforschung Hameln/Emmerthal, Am Ohrberg 1, D-31860 Emmerthal — 2University of New South Wales, Sydney 2052, Australia
In dieser Arbeit wird ein numerisches Modell entwickelt, mit dem Kapazitäts-Spannungs (C-V) - Kurven von Metall/Oxid/Halbleiter (MOS)-Kondensatoren sowohl für den quasistatischen als auch für den Hochfrequenzfall simuliert werden können. Es basiert auf dem für Oberflächenzustände an der Si/SiO2-Grenzfläche entwickelten Modell aus Ref. [1], wurde aber durch Löcher-Haftstellen (Traps) erweitert, die sich innerhalb der SiO2-Schicht befinden. Durch Fit an im Dunkeln gemessene C-V-Kurven von MOS-Strukturen
kann für die Oberflächenzustände deren energetische Verteilung Dit(E) mit genauer Fehleranalyse ermittelt werden. C-V-Kurven unter Beleuchtung weisen zusätzlich einen scharfen Peak auf, dessen Charakteristik und Beleuchtungsabhängigkeit nur mit den oben erwähnten zusätzlichen Löcher-Traps simuliert werden kann. Dieser Peak wurde bei ähnlichen Proben auch in [2] beobachtet, wurde dort aber mit durch Licht veränderlichem Dit(E) erklärt. Im Dunkeln tritt der Peak aufgrund geringer Löcherkonzentration an der invertierten SiO2/p-Si-Grenzfläche nicht auf. Die energetische Lage der Löchertraps scheint scharf lokalisiert zu sein und kann durch die Simulation in guter Genauigkeit relativ zur Valenzbandkante des p-Si bestimmt werden.
[1] R. Girisch et al., IEEE Trans. Elec. Dev., 35 No. 2 (1988)
[2] S. Kar and S. Varma, J. Appl. Phys. 58 No. 11 (1985)