Münster 1999 – scientific programme

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HL: Halbleiterphysik

HL 30: Epitaxie

HL 30.3: Talk

Thursday, March 25, 1999, 11:00–11:15, H3

Wachstum von AlGaAs/GaAs-Quantendrähten auf strukturierten Substraten — •Andreas Kaluza¹, Axel Schwarz¹, Hilde Hardtdegen¹, Thomas Schaepers¹, Konrad Wirtz¹ und Christel Dieker² — ¹FZ Jülich — ²CAU Kiel

Durch die laufende Miniaturisierung auf dem Bauelementsektor werden Quanteneffekte eine zunehmende Rolle spielen. Die hier vorgestellten Untersuchungen zielen darauf ab, diese zu erforschen und nutzbar zu machen. Dazu soll zunächst der elektrische Transport in quasieindimensionalen Systemen, sogenannten Quantendrähten, untersucht werden. Hier wird die Herstellung von Quantendrähten durch Wachstum von modulationsdotierten Heterostrukturen auf vorstrukturierten Substraten untersucht. Im Mittelpunkt stehen dabei die Auswirkungen der Wachstumsparameter und verwendeten Quellenverbindungen auf das Profil der V-Gräben, die mit Hilfe von TEM und AFM sichtbar gemacht werden. Die hierbei gewonnenen Erkentnisse werden vorgestellt und diskutiert.