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M: Metallphysik

M 20: Amorphe Metalle II

M 20.10: Vortrag

Donnerstag, 25. März 1999, 13:55–14:10, S 8

„Implantationsmodell“ zur Entstehung der Übersättigung, der inneren Spannungen und der Defekte laserdeponierter metallischer Schichten — •M. Störmer¹, P. Kesten¹, A. Pundt¹, H.U. Krebs¹, M. Seibt² und S. Senz³ — ¹Institut für Materialphysik, Universität Göttingen — ²IV. Physikalisches Institut, Universität Göttingen — ³MPI für Mikrostrukturphysik, Halle/Saale und SFB 345

Neben starker Übersättigung der Randphasen, besserer Homogenität auf atomarer Skala als gesputterte und aufgedampfte Schichten [1] zeigen laserdeponierte Schichten hohe innere Druckspannungen (1-2 GPa) und zahlreiche Defekte (insbesondere hohe Versetzungsdichten von etwa 10¹² cm⁻²). Diese Filmeigenschaften werden anhand eines „Implantationsmodells“ diskutiert.

[1] M. Störmer und H. U. Krebs, J. Appl. Phys. 76 (1995) 7080.