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M: Metallphysik

M 25: Symposium „Metallphysikalische Probleme in der Mikroelektronik “

M 25.5: Vortrag

Donnerstag, 25. März 1999, 17:30–17:45, S 8

Anelastische Eigenschaften von Aluminiumschichten auf Silizium bei hohen Temperaturen. — •Ulrich Harms¹, Frank Klose¹, Hartmut Neuhäuser¹, Klaus Fricke² und Andreas Schlachetzki² — ¹Institut für Metallphysik und Nukleare Festkörperphysik, TU-Brauschweig; Mendelssohnstr. 3; 38106 Braunschweig — ²Institut für Halbleitertechnik, TU-Brauschweig; Hans Sommer Str. 66; 38106 Braunschweig

Mit der Vibrating Reed Technik wurden Aluminiumschichten auf Silizumsubstrat untersucht. Die Kombination von Biege- und Torsionsschwingungen (im Frequenzbereich von 100 Hz bis 10 kHz) erlaubt eine Trennung der Dämpfung für den Schermodul und den biaxialen Modul der Schicht. Die Amplitudenabhängigkeit wurde bis zu Dehnungen von 10⁻⁴ untersucht. Besonders bei dünnen Schichten (unter 200 nm) tritt neben der Dämpfung durch Korngrenzengleiten (Peak bei ca. 370 K) ein weiteres Maximum in der Dämpfung bei ca. 600 K auf.

(Gefördert im Graduiertenkolleg der TU-BS und PTB-Braunschweig.)