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O: Oberflächenphysik

O 18: Epitaxie und Wachstum (II)

O 18.4: Vortrag

Dienstag, 23. März 1999, 17:00–17:15, S10

Inseldichte bei der gepulsten Laserdeposition — •F. Westerhoff und D.E. Wolf — FB 10, Theoretische Physik, Gerhard-Mercator-Universität Duisburg, 47048 Duisburg

Bei der gepulsten Laserdeposition (PLD) werden im Gegensatz zur thermischen Deposition eine große Zahl Teilchen gleichzeitig deponiert. Damit kann man trotz hoher Substrattemperatur eine hohe Inseldichte und somit ein verbessertes Lagenwachstum erhalten. Verringert man in der PLD die Pulsintensität, so ist der Grenzfall der Molekularstrahlepitaxie enthalten. Es werden die Abhängigkeit der Inseldichte von der Pulsintensität und der Pulsfrequenz sowohl theoretisch begründet, als auch Simulationsergebnisse gezeigt.