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O: Oberflächenphysik

O 20: Rastersondentechniken (I)

O 20.4: Talk

Tuesday, March 23, 1999, 17:00–17:15, S2

Das Depolarisations-NSOM: Nahfeldauflösung mit unbedampften Glasfaserspitzen. — •G. von Freymann, Ch. Adelmann, Th. Schimmel und M. Wegener — Institut für Angewandte Physik, Universität Karlsruhe (TH), 76128 Karlsruhe

Im Nahfeld eines Objektes wird linear polarisiertes Licht depolarisiert. Detektion der depolarisierten Komponenten gibt Aufschluss über Materialunterschiede bzw. Gradienten der optischen Eigenschaften der Probe.

Wir zeigen die Funktionsweise eines Gerätes, das mittels polarisationssensitiver Abbildung diese Depolarisation sichtbar macht und daher Depolarisations-NSOM (DP-NSOM) genannt wird. Wir erreichen damit ohne Zuhilfenahme von Modulationstechniken Nahfeldauflösung mit unbeschichteten Glasfaserspitzen. Wir zeigen, dass Materialdiskontinuitäten senkrecht zur Polarisation des einfallenden Lichtes abgebildet werden. Die Polarisationsabhängigkeit sowie der Einfluss kleiner Elliptizitäten in der Polarisation auf den Abbildungsprozess werden untersucht. Der Übergang von Fernfeld- zu Nahfeldabbildung wird demonstriert. Die verwendete Probe wurde mittels Elektronenstrahllithographie und anschließendem chemischen Ätzen strukturiert, um eine wohldefinierte Teststruktur zur Verfügung zu haben. Die Grabenbreite von 150 nm wird in den Messungen [1] reproduziert und entspricht in unserem Fall (verwendete Wellenlänge λ= 633 nm) weniger als λ/4. Alle Resultate sind in guter Übereinstimmung mit Computer-Simulationen [2].

[1] Ch. Adelmann, J. Hetzler, G. Scheiber, Th. Schimmel, M. Wegener, H. B. Weber, H. v. Löhneysen, Appl. Phys. Lett. in press (1998)

[2] G. von Freymann, Th. Schimmel, M. Wegener, B. Hanewinkel, A. Knorr und S. W. Koch, Appl. Phys. Lett. 73(9), 1170 (1998)