Münster 1999 – scientific programme

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O: Oberflächenphysik

O 20: Rastersondentechniken (I)

O 20.7: Talk

Tuesday, March 23, 1999, 17:45–18:00, S2

Optische Nahfeldmikroskopie mit mikrofabrizierten Apertursonden im Tapping-Mode — •Thomas Kalkbrenner, Markus Graf, Vahid Sandoghdar und Jürgen Mlynek — Optikzentrum Konstanz/ Fakultät für Physik, Universität Konstanz, 78457 Konstanz

In der optischen Nahfeldmikroskopie (Scanning Near-field Optical Microscopy, SNOM) werden üblicherweise metallbeschichtete Glasfaserspitzen als Sonden verwendet. Bei der Herstellung dieser Sonden können wichtige Parameter wie Aperturgröße und Spitzenform jedoch nicht reproduzierbar erzielt werden.
Wir berichten über den Einsatz mikrofabrizierter SNOM-Sonden, die im Rahmen eines BMBF-Verbundprojekts [1] vom Institut für Mikrotechnik Mainz (IMM) hergestellt werden. Es handelt sich um AFM-Cantilever mit metallbeschichteten SiN-Spitzen, die einen Aperturdurchmesser von unter 100 nm aufweisen. In unserem Aufbau wird Laserlicht von oben in die Spitze fokussiert und in Transmission mit einem invertierten optischen Mikroskop detektiert. Die Abstandsregelung der Sonde erfolgt mittels Beam-deflection im Tapping-Mode. Optische Bilder von Testproben mit und ohne Topographie werden gezeigt und die Abhängigkeit der optischen Auflösung von den Parametern der Tapping-Mode Abstandsregelung wird diskutiert.

[1] BMBF-Verbundprojekt INOS, in Zusammenarbeit mit Carl Zeiss Jena GmbH