Münster 1999 – wissenschaftliches Programm
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O: Oberflächenphysik
O 22: Nanostrukturen
O 22.11: Vortrag
Mittwoch, 24. März 1999, 17:00–17:15, S1
Nanoporöse Schichten aus ITO–Cluster — •C. Keutgen, G. Bour, M. Gartz und U. Kreibig — I.Physikalisches Institut der RWTH-Aachen — Postfach — 52056 Aachen
Die Hochleistungs–Laserquelle LUCAS ermöglicht es, kristalline Indium –Zinn–Oxid–Cluster von einem festen Target ohne zusätzliches Tempern in einer Sauerstoff–Atmosphäre herzustellen. Diese Schichten mit Dicken bis zu 350 nm zeigen im TEM–Bild eine lockere, nanoporöse Struktur. Elektronenbeugung läßt auf eine überwiegend kristalline Struktur schließen. EDX ergab eine Zusammensetzung von 88% In und 12% Sn.
In-situ gemessene optische Extinktion zeigt, daß die Proben im Sichtbaren transparent sind aber deutlich streuen. Der elektrische Widerstand wurde mit der van der Pauw Methode gemessen: für eine 190 nm dicke Schicht ergab sich der spezifische Widerstand zu ρ = 9 · 10−3 Ω cm was auf gute Grenzflächenkontakte benachbarter Cluster und gute elektrische Perkolation in dem dreidimensionalen Netzwerk schließen läßt.