Münster 1999 – wissenschaftliches Programm

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O: Oberflächenphysik

O 22: Nanostrukturen

O 22.2: Vortrag

Mittwoch, 24. März 1999, 14:45–15:00, S1

Nanostrukturierung von Titanfilmen mittels Rasterkraftmikroskopie — •Ch. Stief, A. Grabowski, R. Houbertz und U. Hartmann — Institut für Experimentalphysik, Universität des Saarlandes, 66041 Saarbrücken

Es wurden mittels Rasterkraftmikroskopie (AFM) Titanfilme anodisch oxidiert. Eine Oxidation der Ti-Filme kann erreicht werden, indem zwischen einer leitfähigen AFM-Sonde und der Probe eine Potentialdifferenz angelegt wird. Aufgrund des unter Atmosphärenbedingungen immer vorhandenen Wasserfilms auf den Probenoberflächen bildet sich eine Wasserkapillare zwischen Sonde und Probe aus, durch die ein Faradaystrom fließen kann. Das für die Untersuchungen verwendete AFM wurde derart erweitert, daß als Regelsignal entweder Kräfte oder der zwischen Sonde und Probe fließende Faradaystrom detektiert werden kann. Eine Strukturierung des Filmes wird erreicht, indem die Potentialdifferenz zwischen Sonde und Probe nur an den zu modifizierenden Orten der Probenoberfläche angelegt wird. Die Abmessungen der so erzeugten Strukturen sind von der Größe der Potentialdifferenz, der Größe des Faradaystromes sowie von der Geschwindigkeit der Strukturierung abhängig. Die Abhängigkeit der Strukturbreite sowie der Strukturhöhe von diesen Parametern werden erläutert. Die Anwendung der Technik im Hinblick auf die Herstellung von elektronischen Quantenbauelementen wird an Hand von I(V)-Kennlinien solcher Bauelemente diskutiert.