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O: Oberflächenphysik

O 30: Teilchen und Cluster (II)

O 30.3: Vortrag

Donnerstag, 25. März 1999, 15:00–15:15, S1

Deposition von massenselektierten Nanopartikeln — •Björn Klipp, Jürgen Müller, Martin Grass und Gerd Ganteför — Fakultät für Physik, Universität Konstanz, 78457 Konstanz

Eine neuartige Methode zur Präparation nanostrukturierter Oberflächen ist die Deposition von massenselektierten Clusterionen mit einer genau definierten Zahl von Atomen. Für eine Bedeckung von wenigen Prozent einer Monolage innerhalb einer akzeptablen Zeitspanne ist ein Clusterionenstrom von mindestens einem Nanoampere erforderlich. Mit einer speziell auf hohe Intensitäten optimierten PACIS (pulsed arc cluster ion source) ist es gelungen, Ströme von mehreren nA z.B. für Al - und Si - Cluster zu erreichen. Die Cluster können mit einer kinetischen Energie von weniger als 1 eV/Atom weich gelandet werden. Mittels UPS und XPS werden die so präparierten Oberflächen in situ charakterisiert.