Münster 1999 – scientific programme
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O: Oberflächenphysik
O 35: Rastersondentechniken (II)
O 35.6: Talk
Thursday, March 25, 1999, 17:30–17:45, PC4
Nanoscratching zur Härteuntersuchung ultradünner Hartstoffschichten — •Andreas Wienss1,2, Michael Vogelgesang2, Gabriele Persch-Schuy1 und Uwe Hartmann2 — 1IBM Deutschland Speichersysteme GmbH, Mainz — 2Universität des Saarlandes, Saarbrücken
Um die Speicherdichten in Festplattenlaufwerken weiter zu erhöhen, wird der Abstand zwischen Schreib-Lese-Kopf und Platte kontinuierlich verringert. Aus demselben Grund ist man bemüht, die diamantähnliche Kohlenstoffschutzschicht trotz der steigenden tribologischen Anforderungen immer dünner zu gestalten. Die mechanische Charakterisierung solch ultradünner Hartstoffschichten stellt eine Herausforderung dar.
Wir zeigen, daß Kratztests mit Kratztiefen im Sub-nm-Bereich eine geeignete Möglichkeit darstellen, auch extrem dünne Schutzschichten noch auf ihre tribologischen Eigenschaften hin zu charakterisieren. Dazu verwenden wir ein atomares Kraftmikroskopes (AFM) in Verbindung mit diamantbestückten Cantilevern und speziell entwickelter Auswertesoftware.
Wir beschreiben eine Herstellungsmethode für geeignete Diamantspitzen. Messungen an einer Serie von a-C:H-Schichten mit unterschiedlichen Wasserstoffgehalt demonstrieren die Tauglichkeit dieser Methode.
Die diesen Ergebnissen zugrundeliegenden Arbeiten wurden im Rahmen des Projektes 03N1019 vom bmb+f gefördert.