Münster 1999 – wissenschaftliches Programm

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O: Oberflächenphysik

O 36: Poster (II)

O 36.48: Poster

Donnerstag, 25. März 1999, 20:00–22:30, Zelt

Kombinierte REM/RTM-Apparatur zur Untersuchung nichtbenetzender Aufdampfschichten — •A. Emundts, P. Coenen, G. Pirug, B. Voigtländer und H.P. Bonzel — IGV, Forschungszentrum Jülich, D-52425 Jülich

Die Untersuchung von Oberflächen mit Inhomogenitäten auf der Mikrometerskala ist mit einem hochauflösenden Rastertunnelmikroskop (RTM) nur eingeschränkt möglich, da charakteristische Merkmale schwer auffindbar sind. Aus diesem Grunde haben wir ein Rastertunnelmikroskop vom Besocke-Typ mit einer hochauflösenden Elektronenkanone (nominelle Auflösung 20 nm) und einem Sekundärelektronendetektor kombiniert [1]. Mit einem solchen Rasterelektronenmikroskop (REM) ist eine gezielte Auswahl einzelner Probenbereiche für die RTM-Untersuchungen im UHV möglich. Dabei können die Annäherung der RTM-Spitze an die Probe, die Probenbereichsauswahl und die Entstehung des RTM-Bildes in Echtzeit mit dem REM verfolgt werden. Hierbei spielt zur Beurteilung der Position der Spitze relativ zur Probe der von der Spitze hervorgerufene Schatten in den REM-Bildern eine wichtige Rolle. Mit dem REM kann darüberhinaus die Qualität der RTM-Spitzen kontrolliert werden. Das Verfahren wird an dem Beispiel kleiner Pb-Kristallite auf Ru(001) erläutert.

[1] A. Wiessner et al., Rev. Sci. Instrum. 68 (1997) 3790