Münster 1999 – scientific programme

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O: Oberflächenphysik

O 36: Poster (II)

O 36.55: Poster

Thursday, March 25, 1999, 20:00–22:30, Zelt

Herstellung und Charakterisierung von Temperatursensoren für die Rasterthermomikroskopie (SThM) — •Jürgen Middeke, Wolfgang Müller-Hirsch, Jürgen Parisi und Achim Kittel — C.v.O. Universität Oldenburg, FB Physik, Energie und Halbleiterforschung, Postfach 2503, D-26111 Oldenburg

In der Rasterthermomikroskopie spielt das in Form einer Spitze aufgebaute Thermoelement die entscheidende Rolle, da es die räumliche, zeitliche und thermische Auflösung des Mikroskops bestimmt. Die Herstellung dieser Temperatursensoren beginnen wir mit dem Elektrochemischen Ätzen einer Pt/Ir-Spitze, wobei routinemäßig Krümmungsradien unterhalb von 100 nm erreichbar sind. Darauf folgt das Aufbringen einer elektrisch isolierenden Schicht durch Eintauchen in Photolack. EDX-Aufnahmen zeigen, daß ein Bereich von etwa 10-20 µm Länge am vorderen Ende der Spitzen nahezu frei von Photolack bleibt, während weiter hinten am Schaft die Dicke der Photolackschicht mehrere µm erreicht. Nach dem Einkleben in Spitzenhalter erfolgt das Bedampfen mit einer ca. 20 nm dicken Metallschicht aus Gold oder Chrom. Die Charakterisierung der so erhaltenen Thermospitzen beinhaltet die Messung des elektrischen Widerstands, der Thermokraft und der thermischen Relaxationszeit. Zur Erprobung im Rasterthermomikroskop werden Messungen an dissipativen Systemen vorgestellt.