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O: Oberflächenphysik

O 53: Hauptvortrag

O 53.1: Invited Talk

Wednesday, March 24, 1999, 17:15–17:45, PC4

Mechanische Spannungen in ultradünnen epitaktischen Schichten — •R. Koch und R. Koch — Paul Drude Institut für Festkörperelektronik

In heteroepitaktischen dünnen Schichten treten üblicherweise in der Anfangsphase des Schichtwachstums sehr große mechanische Spannungen (GPa) auf, die einerseits auf die Gitterfehlanpassung zum Substrat zurückzuführen sind (Misfitspannungen) und andererseits auf Oberflächenstress-Effekte, welche die geänderten Bindungsverhältnisse an der Oberfläche widerspiegeln. Eine Übersicht über die mechanischen Spannungen in verschiedenen ’monolagen-dicken’ Schichten wird gegeben.