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SYNK: Symposium Nanokristalline Materialien - Struktur und elektronische Eigenschaften

SYNK VI: HV VI

SYNK VI.1: Hauptvortrag

Mittwoch, 24. März 1999, 17:00–17:30, H3

Nanoanalytik mittels Rastersondenmikroskopietechniken — •E. Oesterschulze — Universität Gesamthochschule Kassel, Institut für Technische Physik, Heinrich-Plett-Strasse 40, 34109 Kassel

Die Rastersondenmikroskopietechniken haben sich in der Oberflächenphysik und Dünnschichttechnologie als eines der wichtigsten modernen Werkzeuge zur Charakterisierung von Oberflächen etabliert. Dies ist darauf zurückzuführen, daß nicht nur eine hohe Oberflächensensitivität, sondern insbesondere eine hohe laterale und Topographieauflösung bis in den atomaren Bereich erzielt werden kann. Aus diesem Grund entwickelt sich in zunehmenden Maße das Interesse, diese Vorteile der Rastersondenmikroskopie zur Untersuchung verschiedenster physikalischer Materialparameter, wie mechanische, elektrische, optische, thermische, magnetische, chemische usw. zu nutzen. In diesem Beitrag wird aufgezeigt, daß dieser Schritt wesentlich durch die Entwicklung neuartiger Sonden unterstützt werden kann. Es wird an ausgewählten Beispielen diskutiert, inwieweit die Mikrosystemtechnik unter Einbeziehung der Methoden der modernen Dünnschichttechnologie zu einer neuen Funtionalität der Sensoren für die Nanoanalytik in der Rastersondenmikroskopie führen kann.