Münster 1999 – wissenschaftliches Programm
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TT: Tiefe Temperaturen
TT 15: Postersitzung II: Elektronische Eigenschaften (1-12), Josephson-Kontakte (13-27), Heavy Fermions (28-40), Theorie HTSL (41-48), M-I-Überg
änge, Korrelierte Systeme (49-79)
TT 15.24: Poster
Mittwoch, 24. März 1999, 14:30–18:00, Foy
Statistische Untersuchung des Herstellungsprozesses von “Inter-face-Engineered” Josephson-Kontakten — •J.-K. Heinsohn, R. Hadfield und R. Dittmann — Institut für Schicht- und Ionentechnik, Forschungszentrum Jülich, 52425 Jülich
Wir untersuchen die Herstellung der Barriere durch
Grenzflächenbehandlungen
(“Interface-Engineered” Josephson-Kontakte). Die Barriere wird durch
Nachbehandlung der Ar-Ionen-geätzten Barriere durch Ätzen mit hoher
Energie
und anschließendes Tempern der Proben unmittelbar vor der Deposition
der
oberen YBCO-Elektrode erzeugt. Dabei bildet sich vermutlich u.a. eine
kubische,
nicht-supraleitende Phase des
YBCO, welche metallische
Eigenschaften aufweist.
Durch statistische Experimentplanung und -auswertung wurden erstmals die
Auswirkungen der Prozeßparameter auf die Eigenschaften der Kontakte
systematisch untersucht. Die Ätzzeit und die Wechselwirkung aus
Ätzzeit und
Depositionstemperatur haben den größten Einfluß auf die
elektrischen Transporteigenschaften.Temperzeit und -temperatur wirken
sich
signifikant auf die Magnetfeldempfindlichkeit und
Homogenität der Stromverteilung aus.
Je nach Wahl der Parameter erzeugen wir reproduzierbar RSJ-artige
Josephsonkontakte mit kritischen Strömen um 500 µA
und normalleitenden Widerständen um 0,4 Ω oder Durchkontakte
mit Flux-Flow-Verhalten und hohen kritischen Stromdichten
(≈105 A/cm2).
Der
Einfluß der Prozeßparameter und ihrer
Wechselwirkungen auf Art
und Dicke der Barriere wird diskutiert.