Münster 1999 – scientific programme

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VA: Vakuumphysik und Vakuumtechnik

VA 1: Vakuumpumpen

VA 1.2: Talk

Monday, March 22, 1999, 10:30–10:50, ZH

Fortschritte auf dem Gebiet der Membran-/Vorvakuumpumpen — •Dipl.-Ing. Erwin Hauser — KNF Neuberger GmbH, Alter Weg 3, 79112 Freiburg

Membranvakuumpumpen haben sich als Vorvakuumpumpen im kleinen und mittleren Saugvermögensbereich aufgrund ihrer Trockenlaufeigenschaften durchgesetzt. Noch kleinere Baugrößen und Leistungsbereiche in diesen Anwendungen erfordern eine Miniaturisierung dieses Pumpentyps, wobei eine neu entwickelte Membrane den Vorstoß in diesen Bereich erlaubt. Im größeren Leistungsbereich konnte mit diesem neuen Membrantyp, bei gleichem Saugvermögen, eine Reduzierung der Pumpenstufen und somit der Baugröße erzielt werden. Mit einem neuartigen dynamischen Massenausgleich wird dabei eine überdurchschnittliche Laufruhe erreicht.