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VA: Vakuumphysik und Vakuumtechnik

VA 1: Vakuumpumpen

VA 1.4: Vortrag

Montag, 22. März 1999, 11:10–11:30, ZH

Die Anpassung von Gewindestufen an die Turbostufen einer Compound-Molekularpumpe — •P. Klingner, Ch. Beyer und H. Englaender — Leybold Vakuum GmbH, Köln

Am Beispiel unterschiedlich gestalteter Füllstufen wird gezeigt, wie ein günstiger Uebergang von Turbo- zu Gewindeteil die Performance vor allem des letzteren verbessert. Allerdings ist die exakte Abstimmung aller Stufen erforderlich, wenn (a) der HV-Druck; (b) die Vorvakuumverträglichkeit; (c) die Herstellungskosten sowie (d) die Kompaktheit einer Pumpe speziell auf die Anforderungen von Prozessanwendungen optimal eingestellt werden sollen. Dies wird anhand von Operationsdiagrammen erlaeutert, die wesentlicher Bestandteil des Entwicklungsprozesses sind.