Münster 1999 – wissenschaftliches Programm
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VA: Vakuumphysik und Vakuumtechnik
VA 1: Vakuumpumpen
VA 1.5: Vortrag
Montag, 22. März 1999, 11:30–11:50, ZH
Saugvermögensmessung von Turbomolekularpumpen mittels Behälterevakuierung — •W. Jitschin — Fachhochschule Giessen-Friedberg, Wiesenstrasse 14, 35390 Giessen
Das Saugvermögen von Turbomolekularpumpen bei Ansaugdrücken >10−6 mbar wird nach den Normen dadurch ermittelt, dass ein bekannter Gasstrom qpV in einen Messdom eingespeist und der sich einstellende Gleichgewichtsdruck p gemessen wird. Ein messtechnisches Problem ist die zuverlässige Messung des Gasstroms, insbesondere bei Verwendung verschiedener Gase. Wir haben daher ein fundamentales, genaues und leicht automatisierbares Verfahren der Gasstromerzeugung erprobt. Hierbei wird ein grösserer Behälter (z.B. V=100 l) über ein Drosselelement (z.B. Blende mit 1 mm Durchmesser) mit dem Gaseinspeisestutzen des Messdoms verbunden. Bei der Messung wird der Behälter zunächst mit dem Gas gefüllt und anschliessend von der Turbomolekularpumpe evakuiert. Der momentane Gasstrom wird aus der zeitlichen Druckabnahme gemäss qpV=V·Δ p/Δ t berechnet. Günstig ist eine Auslegung mit einer Zeitkonstante τ=Volumen/Blendenleitwert=500...1000 s, da dann einerseits noch ein nahezu stationäres Verhalten erhalten wird und andererseits eine Saugvermögensmessung über einen weiten Bereich von Ansaugdrücken innerhalb einer Stunde durchführbar ist. Über eine Erprobung des Verfahrens und mögliche systemtische Fehlerquellen wird berichtet.