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VA: Vakuumphysik und Vakuumtechnik

VA 1: Vakuumpumpen

Montag, 22. März 1999, 10:00–12:10, ZH

	10:00	VA 1.1	Fachvortrag: Verbesserungen in Halbleiterprozessen durch die richtige Wahl von Vorvakuumpumpen und durch die Optimierung der Vorvakuum Rohrleitung — •Peter Reimer, D. Smith, and P. Sabouri
	10:30	VA 1.2	Fortschritte auf dem Gebiet der Membran-/Vorvakuumpumpen — •Dipl.-Ing. Erwin Hauser
	10:50	VA 1.3	Experimentelle Untersuchungen zur Bestimmung der Reibleistung von Argon und Helium im Druckbereich von 10−3...10−1 mbar bei einer Temperatur von 330K — •F. J. Schittko, Ch. Beyer, J. Brezina, H. Englaender und I. Seckel
	11:10	VA 1.4	Die Anpassung von Gewindestufen an die Turbostufen einer Compound-Molekularpumpe — •P. Klingner, Ch. Beyer und H. Englaender
	11:30	VA 1.5	Saugvermögensmessung von Turbomolekularpumpen mittels Behälterevakuierung — •W. Jitschin
	11:50	VA 1.6	Saugvermögen für Wasserstoff und Edelgase an Aktivkohlepanels in Kryopumpen — •Christian Day