Münster 1999 – scientific programme

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VA: Vakuumphysik und Vakuumtechnik

VA 3: Vakuummesstechnik

VA 3.2: Fachvortrag

Monday, March 22, 1999, 16:00–16:30, ZH

Keramische Drucksensoren für die Regelung von Prozessdrücken im Bereich von Microbar — •U. Wälchli und Per Björkmann — Balzers and Leybold Instrumentation, Balzers AG, FL-9496 Balzers

Auf dem Gebiet der kapazitiven Drucksensoren wurde in den letzten Jahren auf Grund von Entwicklungen der Werkstofftechnologie eine neuartige Druckmesszelle aus äusserst korrosionsbeständigem Aluminiumoxid entwickelt. Solche kapazitiven Druckmesssensoren aus einer hochreinen Aluminiumoxidkeramik zeigen interessante Eigenschaften hinsichtlich der nicht ermüdbaren Elastizität der Messmembran. Experimentell wurde dieses Verhalten über einige 100 000 Lastwechselzyklen mit der Stabilität des Nullpunkts gezeigt. Auch extreme Dauerbelastungen von 10 000 Vollauschlagzyklen sind für einen richtig dimensionierten Sensor mit einer Membran kein Problem.