Münster 1999 – scientific programme

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VA: Vakuumphysik und Vakuumtechnik

VA 3: Vakuummesstechnik

VA 3.4: Talk

Monday, March 22, 1999, 16:50–17:10, ZH

Anwendung eines Gasreibungsvakuummeters zur Bestimmung von Volumenverhältnissen — •K. Jousten — Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Abbestr. 2-12, 10587 Berlin

Für die Darstellung des Drucks im Hoch- und Feinvakuumbereich (10⁻⁵ Pa bis 1 kPa) zur Kalibrierung von Vakuummessgeräten wird in der PTB das statische Expansionsverfahren angewandt, bei dem eine bekannte Gasmenge aus einem kleinen Volumen in ein wesentlich grösseres Volumen expandiert wird. Die genaue Ermittlung dieser Volumenverhältnisse ist entscheidend für die Genauigkeit des Verfahrens. Zur Bestimmung solcher Volumenverhältnisse wurde ein Gasreibungsvakuummeter (SRG) eingesetzt, mit dem der Druck vor und nach einer Expansion gemessen wird. Dabei muss die Anzeige des SRG nach einem in der Literatur [1] beschriebenen Verfahren linearisiert werden. Die mit dieser Methode erzielten Ergebnisse wurden mit denen zweier anderer unabhängiger Methoden verglichen. Die relativen Ergebnisdifferenzen waren kleiner als 0,03% und stimmten im Rahmen ihrer Messunsicherheiten überein.

[1] A. Berman, J.K. Fremerey, J. Vac. Sci. Technol. A 5, 2436 (1987).