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VA: Vakuumphysik und Vakuumtechnik

VA 3: Vakuummesstechnik

VA 3.5: Talk

Monday, March 22, 1999, 17:10–17:30, ZH

Anwendung der Elektronendriftgeschwindigkeit zur Druckmessung — •Christian Edelmann, R. Kauert, and St. Wilfert — Otto-von-Guericke Universit"at Magdeburg,Inst. f. Exp. Physik, 39106 Magdeburg

F"ur einen Teil des Grob- und Feinvakuumbereiches kann man die Elektronendriftgeschwindigkeit im elektrischen Feld zur Druckmessung heranziehen. Messeinrichtungen, die dieses Prinzip benutzen, zeichnen sich durch einen einfachen Aufbau und eine einfache Elektronik aus. Es bestehen M"oglichkeiten, das Ger"at zu miniaturisieren. "Uber erste Messungen und Rechnungen zu dieser Problematik wird berichtet.