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VA: Vakuumphysik und Vakuumtechnik

VA 3: Vakuummesstechnik

VA 3.5: Vortrag

Montag, 22. März 1999, 17:10–17:30, ZH

Anwendung der Elektronendriftgeschwindigkeit zur Druckmessung — •Christian Edelmann, R. Kauert, and St. Wilfert — Otto-von-Guericke Universit"at Magdeburg,Inst. f. Exp. Physik, 39106 Magdeburg

F"ur einen Teil des Grob- und Feinvakuumbereiches kann man die Elektronendriftgeschwindigkeit im elektrischen Feld zur Druckmessung heranziehen. Messeinrichtungen, die dieses Prinzip benutzen, zeichnen sich durch einen einfachen Aufbau und eine einfache Elektronik aus. Es bestehen M"oglichkeiten, das Ger"at zu miniaturisieren. "Uber erste Messungen und Rechnungen zu dieser Problematik wird berichtet.