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VA: Vakuumphysik und Vakuumtechnik

VA 6: Ausgasung und Oberflächen

VA 6.1: Fachvortrag

Dienstag, 23. März 1999, 15:40–16:10, ZH

Neuere Erkenntnisse über das Restgas im Ultrahochvakuum — •J. K. Fremerey — IGV, Forschungszentrum Jülich, 52425 Jülich

CO und andere flüchtige Kohlenstoffverbindungen werden weithin als natürliche Bestandteile des Restgases in einer UHV-Apparatur angesehen. Nur allmählich setzt sich die Erkenntnis durch, dass das primäre Restgas in einer gut ausgeheizten Edelstahlapparatur reiner Wasserstoff ist. Andere Gase, vor allem CO, müssen demnach als Verunreinigungen angesehen werden. Sie entstehen durch ioneninduzierte Oberflächenprozesse beim Betrieb von Ionenquellen, insbesondere in Ionisationsvakuummetern und Massenspektrometern (Restgasanalysatoren). CO ist als Störfaktor bei empfindlichen oberflächenphysikalischen Analysen und Prozessen bekannt. Es wird vorgeschlagen, unter dem Begriff XHV (extremes Hochvakuum) auch die weitgehende Abwesenheit von CO zu verstehen. Es wird ferner gezeigt, dass eine gründliche Wasserstoffausgasung von Edelstahl sehr viel längere Heizzyklen erfordert als sie heute üblicherweise in der XHV-Technik praktiziert werden (vacuum firing). In Langzeitbeobachtungen konnte mit Hilfe eines Gasreibungsvakuummeters nachgewiesen werden, dass der Wasserstoffdruck in einem hermetisch geschlossenen, hinreichend lang ausgeheizten Edelstahlbehälter einen Sättigungswert von ca. 0,2 mPa bei Raumtemperatur nicht übersteigt.