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VA: Vakuumphysik und Vakuumtechnik

	Mo, 10:00–12:10	ZH	VA 1: Vakuumpumpen
	Mo, 14:00–15:20	ZH	VA 2: Vakuumverfahrenstechnik I
	Mo, 15:20–17:30	ZH	VA 3: Vakuummesstechnik
	Di, 10:00–15:40	ZH	VA 4: Vakuumverfahrenstechnik II
	Di, 14:00–14:40	S10	VA 5: Vortrag des Geade-Preisträgers 1999 (gemeinsam mit O und DS)
	Di, 15:40–17:10	ZH	VA 6: Ausgasung und Oberflächen