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MS: Massenspektrometrie

MS III: HV III

MS III.1: Invited Talk

Monday, April 3, 2000, 15:00–15:30, HS VII

Fortschritte der anorganischen Massenspektrometrie zur Spuren-, Ultraspuren-, Isotopen- und Oberflächenanalyse — •J. Sabine Becker und Hans-Joachim Dietze — Zentralabteilung für Chemische Analysen, Forschungszentrum Jülich GmbH, Postfach 1913, 52428 Jülich

Die Massenspektrometrie als universelle und leistungsfähige Methode der Spuren-, Ultraspuren- und Präzisionsisotopenanalytik hat sich auf dem Gebiet der anorganischen Analytik für high-tech Forschungsaufgaben und Routineanwendungen in den verschiedensten modernen Anwendungsfeldern (z.B. Materialwissenschaften, Mikroelektronik und Umweltanalytik) zu einer führenden analytischen Methode entwickelt.

Im Vortrag wird die instrumentelle und verfahrensanalytische Entwicklung der anorganischen Massenspektrometrie (SSMS, GDMS, LIMS, TIMS, RIMS, SIMS, SNMS, ICP-MS und LA-ICP-MS) anhand ausgewählter Anwendungen in der Materialforschung (zur Analytik von Reinststoffen, Halbleiter, Keramiken und Schichtsystemen) diskutiert.