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P: Plasmaphysik

P 10: Magnetischer Einschluss II

P 10.2: Vortrag

Mittwoch, 5. April 2000, 09:30–09:45, HS V

Laserdiagnostik von Energieverteilungen von Atomen und Molekülen bei der physikalischen Zerstäubung — •A. Goehlich, D. Gillmann und H.F. Döbele — Institut für Laser- u. Plasmaphysik , Universität GH-Essen, Universitätsstr. 2-5, 45117 Essen

Die Wechselwirkung energetischer Ionen mit

Festkörperoberflächen spielt bei der

Plasma-Wand-Wechselwirkung z.B. in Fusionsexperimenten sowie

in technologischen Anwendungen eine wichtige Rolle. In diesem

Beitrag wird über neue Ergebnisse von Experimenten zur

Bestimmung von Energieverteilungen abgestäubter Atome und

Moleküle berichtet, u.a. über LIF-Experimente zur

Untersuchung von Anisotropieeffekten bei der Zertstäubung.

In diesem Fall werden Metalltargets mit Edelgasionen im

unteren keV Bereich beschossen und die Energieverteilungen

winkelabhängig vermessen. Die Form der Energieverteilung

hängt beim niederenergetischen Beschuß von den

gewählten Beschußbedingungen ab und kann Aufschluß

über Details des Zerstäubungsmechanismus geben. Ferner

werden Flugzeit-Messungen von Zerstäubungsprodukten oxidierter

Metalloberflächen durch resonante Ionisationspektroskopie

vorgestellt. Flugzeitverteilungen von Atomen (z.B. atomarer

Sauerstoff) und Metalloxidmolekülen werden auf diese Weise

bestimmt. Es zeigen sich deutliche Unterschiede zwischen den

Energieverteilungen von Grundzustandsteilchen und Metastabilen.