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P: Plasmaphysik

P 12: Plasmadiagnostik II

P 12.6: Vortrag

Donnerstag, 6. April 2000, 15:30–15:45, HS IX

Zeitaufgelöste Diagnostik der stabilen Reaktionsprodukte in CF₄ / H₂ Plasmen mittels Elektronenanlagerungs-Massenspektrometrie — •Hans-Erich Wagner¹, Valja Kroutilina¹, Jürgen Meichsner¹, Ronny Brandenburg¹, Eva Stoffels² und Winfrid Stoffels² — ¹Institut für Physik, Universität Greifswald, Domstraße 10a, 17489 Greifswald — ²Department of Physics, Eindhoven University of Technology, P.O. Box 513, 5600 Eindhoven

Mit einem Plasmamonitor der Firma HIDEN Analytical (Typ EQP 300), ausgerüstet mit einem RGA-System fuer negative Ionen, werden die relevanten stabilen Komponenten (F₂, CF₄, C₂F₆, C₃F₈) mittels Elektronenanlagerungs-Massenspektrometrie (EAMS)und darüber hinaus die Reaktionsprodukte HF und CHF₃ mittels +RGA -Massenspektrometrie zeitlich aufglöst detektiert. Die Untersuchungen erfolgen in einem abgeschlossenen System. Dazu wird eine symmetrische 50 kHz Entladung in einer Parallelplatten-Anordnung betrieben. Bei konstantem Anfangsdruck von p=15 Pa wird der Wasserstoffanteil systematisch variiert. Mittels der EAMS lässt sich die Dynamik der plasmachemischen Stoffwandlung sehr gut erfassen. Eine Erhöhung des H₂-Anteils im CF₄-H₂-Ausgangsgemisch begünstigt zunächst die Bildung höhermolekularer Fluorverbindungen (Anhebung des C/F- Verhältnisses) und die Abscheidung von Polymerschichten auf den Elektroden. Dieses Resultat befindet sich in Übereinstimmung mit der Erwartung, da die Bildung von HF und CHF₃ F und F₂ bindet.