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P: Plasmaphysik
P 13: Staubige Plasmen
P 13.1: Fachvortrag
Freitag, 7. April 2000, 11:00–11:30, HS III
Plasmadiagnostik mit mikrodispersen Pulverteilchen ? — •Holger Kersten1, Matthias Otte1, Geert Swinkels2, Gerrit Kroesen2, Hans Deutsch1 und Rainer Hippler1 — 1Institut für Physik, Universität Greifswald — 2Department of Physics, TU Eindhoven
Die Wechselwirkung zwischen Plasma und mikrodispersen
Pulverteilchen kann durchaus zur Diagnostik von
Plasma-Wand-Wechselwirkungsprozessen in technologischen
Anwendungen des Niederdruckplasmas dienen. Pulverteilchen können
beispielsweise als Mikro-Sonden f*r die Charakterisierung des
elektrischen Feldes vor der Elektrode bzw. vor dem Substrat und
zur Bestimmung der Energieflüsse zischen Plasma und Oberflächen
dienen.
Durch die Beobachtung der Position und Bewegung der Teilchen in
Abh*ngigkeit von den Entladungsparametern kann man aus der
Kräftebilanz Informationen über die Feldverteilung erhalten.
Darüberhinaus wurden die Pulverteilchen auch als mikroskopische
Thermosonden benutzt. Die Gleichgewichtstemperatur der Teilchen,
die sich infolge der verschiedenen Energieströme aus dem Plasma
einstellt, wurde mittels temperaturabhängiger Fluoreszenz der
Teilchen gemessen. Unter Berücksichtigung der Gewinn- und
Verlustprozesse wurde die thermische Bilanz der Mikro-Teilchen
abgeschätzt und mit den Messungen verglichen.