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P: Plasmaphysik

P 13: Staubige Plasmen

P 13.5: Talk

Friday, April 7, 2000, 12:30–12:45, HS III

Untersuchung eines thermischen HF-Syntheseplasmas mit mehrdimensionalen optischen Methoden — •Holger Schubert, Peter Buchner, Jürgen Uhlenbusch und Matthias Weiß — Inst. f. Laser- u. Plasmaphys., Uni Düsseldorf

Zirkonoxid (ZrO₂) ist ein Hochtemperaturmaterial, das Anwendungen u.a. im Bereich Wärmedämmschichten und Brennstoffzellen findet. Die hohen Dichten und Gastemperaturen von HF-Plasmen im atmosphärennahen Druckbereich werden zur Erzeugung von ZrO₂-Nanopulver und -Schichten mit hohen Raten genutzt. Dabei werden feste oder flüssige Substanzen verdampft und der Dampf bei nachfolgender Abkühlung zu Nanopartikeln und/oder Schichten kondensiert. Die Verdampfung des Ausgangsmaterials wurde für diesen Beitrag mit zwei Methoden vermessen: Imaging-Spektroskopie (50 Positionen im Plasma werden gleichzeitig spektral untersucht) und Monochromatic Imaging (Bilder mit hoher Raum- und Zeitauflösung werden mit einer intensivierten CCD-Kamera in Verbindung mit Interferenzfiltern aufgenommen). Mit diesen mehrdimensionalen Verfahren wird der Einfluss der Plasmaparameter (Gasflüsse, Druck, Leistung etc.) auf die Verdampfung untersucht.