Bonn 2000 – scientific programme

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P: Plasmaphysik

P 15: Plasmadiagnostik III

P 15.2: Talk

Friday, April 7, 2000, 11:30–11:45, HS IX

Untersuchung der Elektronen–Energieverteilung in einer ECR–Entladung mittels Thomson–Streuung — •D. Hemmers, H. Kempkens, St. Meier, J. Uhlenbusch und M. Wischmeier — Institut für Laser– und Plasmaphysik, Heinrich–Heine–Universität Düsseldorf, 40225 Düsseldorf

In diesem Vortrag werden zeitgemittelte und zeitaufgelöste Messungen der Elektronen–Energieverteilung (Eedf) in einer Argon ECR–Entladung mittels inkohärenter Thomson–Streuung vorgestellt. Es werden unterschiedliche Entladungsbedingungen untersucht, wobei ein klassischer 90^∘–Aufbau verwendet wird, der durch den Einsatz von 11 spektralen Kanälen kurze Messzeiten ermöglicht. Aufgrund der Streugeometrie kann nur die Energieverteilung senkrecht zum Magnetfeld vermessen werden. Unsere Ergebnisse zeigen, dass in Entladungen mit niedriger Elektronendichte die Eedf im Energiebereich von 10 eV bis 30 eV signifikant von einer Maxwell–Verteilung abweicht. Es konnte eine hochenergetische Elektronenpopulation nachgewiesen werden, deren Entstehung durch die Aufheizung der Elektronen durch die Mikrowelle und Einschluss dieser Elektronen im magnetischen Spiegelfeld erklärt werden kann. Wir stellen ein einfaches Modell vor, das die Ergbnisse qualitativ erklärt und ein Kriterium für das Auftreten der hochenergetischen Komponente liefert. Die Arbeiten werden von der DFG im Rahmen des SFB 191 gefördert.