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P: Plasmaphysik

P 16: Plasmadiagnostik (Poster)

P 16.14: Poster

Mittwoch, 5. April 2000, 10:30–13:00, Aula

Untersuchung niedermolekularer Stoffwandlungsprodukte einer RF-Entladung in Hexamethyldisiloxan (HMDSO) mittels Masenspektrometrie — •K. Li¹, M. Osiac², G. Revalde³, J. Meichsner¹ und J. Röpcke² — ¹Inst. f. Physik, Universität Greifswald, 17487 Greifswald — ²Inst. f. Niedertemperatur-Plasmaphysik, 17489 Greifswald — ³Inst. f. Atomphysik u. Spektroskopie, Universität Lettland, Riga

Die Diagnostik chemisch aktiver transienter und stabiler Moleküle in RF-Entladungen molekularer Gase liefert Kenntnisse über komplexe plasmachemische Stoffwandlungsvorgänge in reaktiven Plasmen. Die Umwandlung der Ausgangsgase in neue stabile Verbindungen ist darüber hinaus von hoher technologischer Relevanz. Die experimentellen Untersuchungen werden an einer asymmetrischen RF-Entladung (13.56 MHz) ausgeführt wobei schwerpunktmässig niedermolekulare Komponenten des Plasmas (CH₄, C₂H₆, C₂H₂ etc.) erfasst wurden. Neben reinen HMDSO-Entladungen wurden auch Gemische mit Ar und O₂ im Druckbereich 10-60 Pa, mit Entladungsleistungen bis 200 W sowie Durchflussraten bis 10 sccm untersucht. Die zeitliche Entwicklung aufgezeichneter Massenspektren von extrahierten stabilen Neutralteilchen aus dem Plasma erlaubt Rückschlüsse auf die Fragmentierung der Monomermoleküle und den Aufbau neuer stabiler Verbindungen. Insbesondere wurden charakteristische Umwandlungszeiten sowie relative Intensitäten von ausgewählten Spezies in Abhängigkeit von den Prozessparametern bestimmt. Die Ergebnisse werden mit IR-Diodenlaser-Absorptionsspektroskopie (TDLAS) am gleichen Versuchsreaktor verglichen (siehe auch Poster G. Revalde et al.).