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P: Plasmaphysik

P 16: Plasmadiagnostik (Poster)

P 16.15: Poster

Mittwoch, 5. April 2000, 10:30–13:00, Aula

Räumliche Konzentrationsverteilungen der N₂-Triplett-Zustände A³Σ_u⁺, B³Π_g, C³Π_u im Bereich der RF-Plasmarandschicht — •B. Krames¹, Th. Glenewinkel-Meyer² und J. Meichsner¹ — ¹Inst. f. Physik, Ernst-Moritz-Arndt-Universität, 17487 Greifswald
— ²Inst. f. Physik, Technische Universität, 09107 Chemnitz

Im Niedertemperaturplasma einer asymmetrischen Stickstoff-Hochfrequenzgasentladung werden mit Hilfe der plasmadiagnostischen Methoden LIF und OES räumliche Konzentrationsprofile der N₂-Triplett-Zustände A³Σ_u⁺, B³Π_g und C³Π_u in verschiedenen Schwingungsniveaus studiert (Druckbereich 10 bis 100 Pa, Schichtspannungen bis ca. 700 V).
Die für die verschiedenen Spezies deutlich unterschiedlichen gemessenen räumlichen Dichteverteilungen können mit Hilfe eines einfachen Modelles beschrieben werden. Dabei zeigt sich, daß vor allem Wandstöße für die räumliche Verteilung der langlebigen Spezies A³Σ_u⁺(v=0,1) von zentraler Bedeutung sind. Die kurzlebigen C³Π_u und B³Π_g finden sich hingegen hauptsächlich im Bereich der Plasmarandschicht.
Durch die Kombination der LIF mit Rayleighstreulichtexperimenten werden absolute Teilchendichten der Zustände A³Σ_u⁺ und B³Π_g bestimmt. Aus dem Vergleich mit den OES-Untersuchungen gelingt auch die Bestimmung der Konzentration des C³Π_u.
Die Arbeiten wurden an der TU Chemnitz durchgeführt und von der DFG gefördert (INK 2 A4).