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P: Plasmaphysik
P 16: Plasmadiagnostik (Poster)
P 16.18: Poster
Wednesday, April 5, 2000, 10:30–13:00, Aula
Lithium-Atomstrahl-Diagnostik für Te und Ne in reaktiven Plasmen — •M. Böke, G. Himmel und J. Winter — Institut für Experimentalphysik II (anwendungsorientierte Plasmaphysik), Ruhr-Universität Bochum, D-44780 Bochum
Bei der Abscheidung von funktionalen Schichten mit Hilfe von
reaktiven Plasmen
werden Wachstumsrate und Schichteigenschaften entscheidend
von der
Elektronendichte und mittleren Elektronenenergie beeinflußt.
Daher ist deren
Kenntnis – insbesondere deren räumliche Verteilung und zeitliche
Entwicklung
– von fundamentaler Bedeutung.
Die emittierte Strahlung eines
thermischen
Lithium-Atomstrahles wird ausgenutzt, um Plasmadichte und
mittlere
Elektronenenergie zu ermitteln. Mittels einer ICCD-Kamera und
Interferenzfiltern wird das von den neutralen Lithium-Atomen
(angeregt durch
Stösse mit Plasmalelektronen) emittierte Licht aufgenommen.
Die aus
geeigneten Linienintensitätsverhältnissen gewonnenen
Plasmaparameter werden
zunächst zur Erprobung und Charakterisierung der Diagnostik mit
Ergebnissen
aus Sondenmessungen in Edelgasplasmen verglichen. LIF-
Messungen mit Laserdioden
werden zur Vermessung und Charakterisierung des Li-
Atomstrahles verwendet.
Als Entladungsgeometrie steht eine GEC-Standard-Zelle mit
kapazitiver bzw.
induktiver Einkopplung zur Verfügung, welche bei einer Frequenz
von 13.56 MHz
und Drucken im Bereich von 1-100 Pa betrieben wird.
Gefördert vom SFB 191 (Niedertemperaturplasmen,
Teilprojekt B8).